新しい蒸着源があった・・・。



(以下、研究の話です。興味ない方はとばしてください)

最近では少しブランクのあった私のスポット溶接の技術も官能の域に達し(笑)、layer by layerをコントロールできる手作り蒸着源の完成にむけて、もうちょっとというところだった。

何せ、この蒸着源はフラックスモニター(手作り)を装備していて、一度キャリブレーションすれば、蒸着速度、量、を自在にコントロールできる。今のところ、QCMを用いた膜厚計よりも正確な感じです。というか、1層、2層をコントロールするんだから、QCMではちょっと・・・、そんなに広いおうちではないし・・・、蒸着方法も電子ビームでなければちょっと・・・、5 x 10^-7 Pa以下じゃないとだめだし・・・。

これを自分で作り上げた時は、ちょくちょく遊びに来る先輩研究員から「ふつう自分で作るか?」とか「クレイジーだ。」といわれましたが、本当にクレイジーなのはこれからです。もうちょっとで電源が完成・・・。

と、調子に乗っていたのですが、先日部屋の隅でこんなものを見つけてしまいました。

http://www.ulvac-phi.co.jp/jp/omicron_component.html

Omicron triple EFMです。

やられました。何でこんなものが転がっているのか(400万円)?というか早く気づけば良かった、と後悔しきりです。実は指導教官が退官するときに、かなりのものを相続(笑)したのですが(装置のおかげで就職・・・)、これには気づきませんでした。いきなり蒸着源の完成品が手に入ったので、一気にスケジュールが変わりました。

ということで、結局装置が完全になるのは11月なんだけれども、それまでにいろいろなことができそう。共同研究網も整備されて来ているので、頑張らねば・・・。

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